테스(095610)는 기판처리장치에 관한 특허권을 취득했다고 26일 공시했다.
회사측은 “이번 특허는 셔터내 히팅모듈의 가열에 의해 셔터에 반응가스의 입자가 달라붙거나 하여 발생되는 오작동을 방지할 수 있다”고 설명했다.
기후위기시계
(주)헤럴드
주소:서울시 용산구 후암로4길 10 헤럴드스퀘어
제호:헤럴드경제
인터넷신문등록번호:서울 아03710
등록일:2015년 04월 28일
발행인ㆍ편집인:최진영 청소년보호책임자:홍승완 대표전화:02-727-0114 | 독자문의:1588-0533
발행인ㆍ편집인:최진영 청소년보호책임자:홍승완 대표전화:02-727-0114 | 독자문의:1588-0533
Copyright Herald Corporation. All Rights Reserved.